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气相合成金刚石薄膜氮化硼CBN薄膜新乡模具培训

作者:admin 来源: 日期:2012-10-24 9:16:51 人气: 标签:气相合成 金刚石薄膜 氮化硼 CBN薄膜
郑州模具培训为大家讲一讲低压气相合成金刚石薄膜的应用 立方氮化硼CBN薄膜技术尚待突破
在上述硬质薄膜材料中,显微硬度 HV能够超过50GPa的有3种:金刚石薄膜、立方氮化硼CBN、氮化碳β-C3N4。这些为数不多的超高硬度薄膜材料的出现,为涂层刀具硬质薄膜的发展开辟了十分稀少而昂贵的天然金刚石远远满足不了现代工业的需要。20世纪50年代中期,美国通用汽车公司人工合成了金刚石,得到颗粒状和粉末状金刚石。由于颗粒状金刚石加工困难,很难把它涂到刀具表面。机械行业常用的聚品金刚石刀片(PCD)也由于几何形状单一,无断屑槽和合理的几何参数,限制了其性能的发挥。70年代初采用低压化学气相沉积方法合成了金刚石薄膜,经过20多年的技术攻关,低压气相合成金刚石的技术终于有了重大突破,研究金刚石成为世界性的热门课题。
金刚石和石墨是同素异形体,金刚石品体是立方品系,属Fd3m空间群;而石墨是六角品系,属R3m空间群。由于原子之间的键合方式不同,使其性能差异十分巨大。从热力学的理论来看,石墨比金刚石更稳定。低压气相生长金刚石,在碳的相图中,是在石墨为稳态而金刚石为亚稳态的区域中进行。然而,由于两相的化学势十分接近,两相都能生成。低压气相合成金刚石的关键技术是抑制石墨相,促进金刚石相生长。常用的合成方法有热丝法,等离子体增强化学气相沉积(PECVD),包括微波PCVD、电子回旋共振 ECR—PCVD、直流和射频PCVD等方法,直流和高频电弧放电热等离子体法等。反应过程中输入的能量(如射频功率、微波功率等)、反应气体的激活状态和最佳配比、沉积过程的成核模式等,对于生成金刚石膜有决定性作用。衬底材料的晶型和点阵常数对金刚石膜成核生长影响很大,当金刚石相和石墨相在衬底上同时成核时,石墨相就会迅速生长。如果存在高浓度的原于氢就会对长出的石墨相起腐蚀作用而将石墨相除去,虽然它也能对金刚石相起腐蚀作用,但速度却慢得多,从而达到抑制石墨相生长的目的。许多沉积金刚石薄膜的温度要求为600℃-900℃,因此该技术常用于硬质合金刀具表面沉积金刚石薄膜。
金刚石硬质合金刀具的商品化,是近几年涂层技术的重大成就。
立方氮化硼CBN薄膜技术尚待突破
与人工合成金刚石薄膜相比,人工合成CBN薄膜的研究工作开展得较晚。 BN有3种异构体:
CBN立方品系闪锌矿结构,F43m空间群;h—BN六方品系石墨结构,P6/mmc空间群;w—BN六方品系纤锌矿结构,P63mc空间群。3种异构体的性能差别很大,h—BN具有与石墨极为相似的结构,质地很软。而w—BN和CBN中, B、N原子都要被此形成四配位结构,它们都是超硬材料。用高温高压方法得到的CBN是颗粒状晶体,最高显微硬度可达84.3GPa,CBN薄膜的最高显微硬度为61.8GPa,其综合性能并不亚于金刚石薄膜。CBN在硬度和导热率方面仅次于金刚石,热稳定性极好,在大气中加热至1000℃也不发生氧化。CBN对于铁族金属具有极为稳定的化学性能,与金刚石不宜加工钢材不同,它可以广泛用于钢铁制品的精加工、研磨等。CBN涂层除具有优良的耐磨损性能外,还可以在相当高的切削速度下加工耐热钢、钛合金、淬火钢,能切削高硬度的冷硬轧辊、掺碳淬火材料和对刀具磨损非常严重的Si-Al合金等。低压气相合成CBN薄膜的方法主要有CVD和PVD法。 CVD包括化学输运PCVD,热丝辅助加热PCVD、ECR-CVD等;PVD则有反应离子束镀、活性反应蒸镀、激光蒸镀离子束辅助沉积法等。
CBN的合成技术,在基础研究和应用技术方面都还有不少工作要做,包括反应机制和成膜过程、等离子体诊断和质谱分析、最佳工艺条件的确定、高效率设备的开发等。

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