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快速热处理设备的回顾与展望

“RHT系列半导体快速热处理设备”是微电子所研制开发的具有自主知识产权的产品。该设备已获1项美国专利、4项中国专利、1项日本专利,1990、1991年先后获得国家发明二等奖和中国专利金奖,目前广泛应用于国内大规模集…
类别:新闻中心 作者:admin 日期:2012-04-24 09.27.44 点击:292 评论:0

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